檢漏 查看擴(kuò)散泵烘烤絲 在看看你的溫度測(cè)環(huán) 用比較真空計(jì)檢查真空計(jì) 包括高真空規(guī)管 都OK了的話 再換油 先燒油10小時(shí)以上 不停抽 到5.5 充氣再抽 到正常為止 !不能正常的話 再拆泵 檢查 擴(kuò)散泵 找找擴(kuò)散泵原理的資料 1.2.3級(jí)排氣有啥問(wèn)題 !有問(wèn)題的話 能加工修復(fù)最好 沒(méi)問(wèn)題換泵 南光的泵不怎么地 呵呵 就是麻煩
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