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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 單點(diǎn)模厚換算 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁]

dingjie 2009-07-30 14:13

單點(diǎn)模厚換算

想請教各位高手一個(gè)問題，鍍1490中心波長的單點(diǎn)增透膜SIO2、ZRO2、SIO2其中第一層是打底，它們的厚度分別是103.7——67.5——125納米做單位。我把厚度代入公式結(jié)果跟實(shí)際的相差很大。有哪位高手會(huì)算請把換算公式列出來并把厚度帶進(jìn)去，交流一下，好對比我錯(cuò)在哪里！ 7?fgcb3  
dingjie 2009-07-30 14:14
上面有錯(cuò)最后一層是325NM，不好意思！
yzhuang 2009-08-01 11:03
膜系是可以的,換算是沒有固定公式可言的,每臺(tái)機(jī)器都可能不一樣,需要你自己進(jìn)行修正,最簡單的辦法就是鍍奇數(shù)個(gè)1/4中心波長的單層膜,記下晶控儀顯示膜厚,然后用測量儀器測出實(shí)際的中心波長,再用軟件模擬一下,實(shí)際厚度多少,實(shí)際厚度與晶控儀顯示厚度之間的比例關(guān)系就是你要記住的本臺(tái)機(jī)器的一個(gè)換算參數(shù)
0558 2009-10-03 11:55
先把TOOLING值找出
天命 2009-12-17 16:02
膜系是可以的,換算是沒有固定公式可言的,每臺(tái)機(jī)器都可能不一樣,需要你自己進(jìn)行修正,最簡單的辦法就是鍍奇數(shù)個(gè)1/4中心波長的單層膜,記下晶控儀顯示膜厚,然后用測量儀器測出實(shí)際的中心波長,再用軟件模擬一下,實(shí)際厚度多少,實(shí)際厚度與晶控儀顯示厚度之間的比例關(guān)系就是你要記住的本臺(tái)機(jī)器的一個(gè)換算參數(shù) Q 8]X  
這個(gè)方法是正確的，也是最容易的
拉比熊 2013-01-14 20:20
就是先做單層膜
擺脫你的煩惱 2013-03-18 19:49
好東西。。。
scenery 2013-08-03 08:51
 V FM[-  
得好好學(xué)學(xué)�。。�！
yuliang-518 2013-08-19 05:31
只能模擬對
503749868 2013-08-21 19:27
好好學(xué)習(xí)
rexchou 2016-04-21 17:27
差異在實(shí)際值與設(shè)計(jì)值之誤差值(tooling)。 )QAYjW!Z  
)=)N9C