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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 關(guān)于阻蒸過程中膜料溢出的問題 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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lywfeng

2009-07-09 22:54

關(guān)于阻蒸過程中膜料溢出的問題

最近在蒸發(fā)YbF3過程中，不定時的出現(xiàn)膜料從蒸發(fā)舟溢出現(xiàn)象，并因此導(dǎo)致零件表面出現(xiàn)材料點，使合格率下降。膜料溢出后導(dǎo)致膜層表面出現(xiàn)材料點的問題雖然有據(jù)可查，但為何膜料會從蒸發(fā)舟中溢出卻一直未排查出原因。

敬請高手指教

lywfeng	2009-07-12 22:55
急需解決此工藝問題，哪位大俠幫幫忙啊

caoguoyin	2009-07-12 23:00
查查你的阻蒸功率工藝是否穩(wěn)定吧

lywfeng	2009-07-13 22:38
應(yīng)該不是阻蒸功率的問題，用阻蒸的時候向來都是自動程序配合手動控制，此問題都是出現(xiàn)在同一膜料YbF3上，且發(fā)生時間不具備習(xí)慣性，目前沒有發(fā)現(xiàn)規(guī)律

damao	2009-11-12 14:05
這好像是個普遍問題吧，需要在工藝上想辦法吧

dede	2012-05-09 00:38
蒸發(fā)舟中溢出？能否加個蓋子

冰雨8788	2012-09-19 15:01
我們前期用蒸法舟鍍Al時，溢出也較嚴(yán)重

ru777rr	2012-09-20 17:27
可以換廠商試試看

a060103112	2013-02-27 12:40
加電流一定要穩(wěn)定均勻，如果是手動鍍膜的話，必須找熟手

clark007	2013-05-30 13:36
是啊，我也碰到這個問題，大家還有什么經(jīng)驗？

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