| opturn | 2009-06-29 13:39 | ||
LenScan鏡面定位儀的原理LenScan鏡面定位儀的光學(xué)原理，為采用了短相干光源的邁克爾遜干涉儀，并且參考鏡位置可以精確移動(dòng)，當(dāng)干涉儀的測量臂與參考臂光程相等時(shí)，才能夠發(fā)生干涉。這樣通過監(jiān)控參考鏡的移動(dòng)，就可以測量被測鏡的位置。 其工作原理圖如下：  測量方法: 通過調(diào)節(jié)掃描參考鏡在延遲光路上的位置，調(diào)出兩干涉信號分別出現(xiàn)極大值的兩個(gè)位置，此兩極值位置所對應(yīng)的掃描參考鏡在延遲光路上的位置之差即待測物品的光學(xué)厚度。而其實(shí)際厚度則為光學(xué)厚度除以其折射率。 考慮到光源的短相干特性，LenScan在應(yīng)用中有以下特征需要注意： (1) 采用短相干光源，且滿足相干長度小于待測物品的光學(xué)厚度的兩倍，從而使得反射光束R1和R2相互不能發(fā)生干涉； (2) 掃描參考鏡的反射光與反射光束R1(或R2)的光程差小于短相干光源相干長度時(shí)，才能發(fā)生干涉并產(chǎn)生相干信號。且光程差為零時(shí)，干涉信號才出現(xiàn)極大值，故兩極值位置所對應(yīng)的掃描參考鏡在延遲光路上的位置之差即待測物品的光學(xué)厚度。 (3) 掃描參考鏡在延遲光路上的位置精度有兩種等級：LS系統(tǒng)，采用光柵尺測量( 1μm)；LI系統(tǒng)，采用激光測距( 150nm)。 LenScan 鏡面定位儀的應(yīng)用： 主要用于光學(xué)系統(tǒng)中的位置和厚度測量。其中典型應(yīng)用為透鏡中心厚度測量和通過測量透鏡間空氣隙的長度來控制透鏡在透鏡系統(tǒng)光軸中位置(如下圖)。 
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