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光行天下 -> 光學薄膜設計,工藝與設備 -> 膜系設計中TOOLING是什么?怎么算? [點此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁]

jakky 2009-03-10 17:02

膜系設計中TOOLING是什么?怎么算?

求各位大哥,有沒有人知道膜系設計中TOOLING是什么東東?怎么算?
zll0605 2009-03-13 14:27
我所理解的是模擬的與自己操作機器做出來的比值。不知道對不對!
jakky 2009-03-13 14:50
成膜時,進行實際控制的是比較片,但基板因為和比較片位置不同,實際膜厚有較大出入,所以在設計中引入了TOOLING工具因子這個東西. @})|Z}~  
現(xiàn)在麻煩的是不知道這個東西該怎么算出來
081023 2009-03-17 23:32
實際就是一個修正值。不同的設備、比較片與零件的位置、膜料的廠家不同、工藝參數等都會影響這個值的變化。是通過在每臺設備實際做后得到的一個經驗值。
wuya02109 2009-08-07 19:55
修正值。
dushuren 2009-08-19 22:33
謝謝指教
gaoxt 2009-08-20 07:18
修正值,比較片與零件的位置相對蒸發(fā)源是不同的
ttndleaqpy 2009-10-25 13:40
tooling value = 實際厚度 / 設定厚度
wangqw 2010-01-15 20:35
7樓說得對
suninrain 2010-01-23 17:22
可以說是晶振膜厚/基片膜厚,,或者是光控片膜厚/基片膜厚
知識乞丐 2016-09-25 11:02
多謝共享資料 好東西
morningtech 2016-09-29 15:50
Tooling = 樣品厚度值/監(jiān)控片厚度值 %#:{UR)E  
DB|Y