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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 磁控濺射鍍膜的話，怎么計(jì)算薄膜的摻雜濃度？ [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁]

melody9566 2009-01-01 22:59

磁控濺射鍍膜的話，怎么計(jì)算薄膜的摻雜濃度？

對(duì)鍍制的金屬陶瓷膜（磁控濺射法，金屬靶和陶瓷靶共濺射），有哪些方法可以計(jì)算出薄膜的摻雜濃度？
fineday36 2009-02-13 21:22
EDX,EMPA
fineday36 2009-02-13 21:22
EDS,EMPA,SORRY,方法很多
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