| xujia008 |
2008-07-01 21:51 |
基于X-Ray LIGA工藝的三維針狀結構的多種制造方法
MEMS的課程論文，寫得比較認真，希望對大家有用^_^ 傳上來掙點分…… 9B&
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本文主要對具有代表性的三維結構——針形陣列的多種制造工藝作出介紹。包括： kK08W3@&t
1、移動掩模深X射線光刻（Moving mask deep X-ray lithography,M2DXL）技術 McO@p =M
2、改變X射線入射方向的二次曝光方法 F1zT )wW
3、水平型正交橫截面技術（Plane-pattern to cross section transfer，PCT） L, tZh0
4、X射線灰色掩模技術 u 87=q^$
并對最新的制造方法：X射線灰色掩模（X-ray gray mask）光刻技術做詳細介紹。
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