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飛奔的牛 2025-01-22 09:42

AR膜中間脫膜

6層膜,GE/ZNS/  GE/ZNS/  GE/ZNS,膜層在ZNS之后鍍GE脫膜,晶圓經(jīng)過劃成小片,邊緣出現(xiàn)中間膜層脫膜。想求助一下是什么原因 B3: