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hello2024	2024-12-10 10:08
微光學(xué)機電系統(tǒng)的發(fā)展和應(yīng)用論述了微光學(xué)機電系統(tǒng)（MOEMS）的研究狀況和已研制的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)工藝與工作原理，對其發(fā)展和應(yīng)用前景進行討論。

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