中科飛測“光學(xué)系統(tǒng)以及檢測設(shè)備”專利公布

近日，據(jù)國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，上海中科飛測半導(dǎo)體科技有限公司取得一項(xiàng)名為“光學(xué)系統(tǒng)以及檢測設(shè)備”的專利，授權(quán)公告號CN 222105753 U，申請日期為2024年4月。 1b7?6CqV  
專利摘要顯示，一種光學(xué)系統(tǒng)以及檢測設(shè)備，涉及光學(xué)檢測技術(shù)領(lǐng)域，光學(xué)系統(tǒng)包括：光源模塊、至少兩個(gè)視場光闌以及驅(qū)動組件，驅(qū)動組件與每個(gè)視場光闌連接，每個(gè)視場光闌的孔徑大小均不相同；光源模塊被配置為提供照明光束；驅(qū)動組件被配置為驅(qū)動至少一個(gè)視場光闌切入或切出光源模塊的出射光路，該視場光闌被配置為限制光源模塊提供的照明光束的光束尺寸。通過設(shè)置至少兩個(gè)視場光闌，可以根據(jù)需要檢測的結(jié)構(gòu)的尺寸，通過驅(qū)動組件將對應(yīng)的視場光闌切入光源模塊的輸出光路，實(shí)現(xiàn)對照明光束的尺寸調(diào)整，對最終的光斑大小進(jìn)行調(diào)整。 n