上海微系統(tǒng)所研制出超小型雙通道集成二氧化碳紅外氣體傳感器

近日，中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所研究員李鐵團(tuán)隊(duì)在超小型二氧化碳（CO₂）氣體傳感器研制方面取得進(jìn)展。該團(tuán)隊(duì)制備的傳感器具有尺寸小、功耗適中、性能穩(wěn)定、成本低以及在中紅外波段發(fā)光效率高等特點(diǎn)，具備良好的抗?jié)裥浴⒎�(wěn)定性和可重復(fù)性，在可穿戴呼吸監(jiān)測(cè)應(yīng)用中具有應(yīng)用前景。相關(guān)研究成果以Ultra-compact dual-channel integrated CO₂ infrared gas sensor為題，發(fā)表在《微系統(tǒng)與納米工程》（Microsystems & Nanoengineering）上。 Pw<'