測量表面粗糙度：白光共聚焦顯微鏡的優(yōu)點(diǎn)

表面粗糙度作為衡量表面質(zhì)量的關(guān)鍵指標(biāo)之一，其測量的準(zhǔn)確性和可靠性直接影響到產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。在當(dāng)今科技飛速發(fā)展的時代，隨著半導(dǎo)體制造、3C電子、光學(xué)加工等行業(yè)的不斷發(fā)展，對表面粗糙度測量儀器的要求也越來越高。SuperView WT3000白光共聚焦顯微鏡(復(fù)合型光學(xué)3D表面輪廓儀)應(yīng)運(yùn)而生，它集成了白光干涉儀和共聚焦顯微鏡兩種技術(shù)，為表面粗糙度測量提供了更精準(zhǔn)、更全面的解決方案。 2Q@Jp`#,4  
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白光干涉儀測量表面粗糙度的優(yōu)點(diǎn) 3 Fy CD4#  
1. 高精度測量 bj 8pqw|;  
SuperView WT3000復(fù)合型光學(xué)3D表面輪廓儀的白光干涉模式可測量0.1nm及以下的粗糙度和納米級的臺階高度。在測量超光滑表面形貌時，能獲得高精度無失真的圖像。例如在半導(dǎo)體制造中，對于芯片表面的微觀粗糙度測量，白光干涉模式可以精確捕捉到納米級的表面起伏，為芯片質(zhì)量控制提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)。 llh +r?  
其粗糙度RMS重復(fù)性可達(dá)0.005nm（在實驗室環(huán)境下測量Sa為0.2nm硅晶片，連續(xù)10次或以上測量），這意味著測量結(jié)果的穩(wěn)定性和可靠性高，能夠滿足精密制造行業(yè)對表面粗糙度測量精度的嚴(yán)格要求。 kTT%< e  
2. 廣泛的測量范圍 ePI