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szzhongtu5 2024-09-20 16:53

白光干涉儀測量材料表面三維形貌

白光干涉儀在測量材料表面三維形貌方面的應用非常廣泛,它通過非接觸式測量方法,能夠提供高精度的表面形貌數(shù)據(jù)。以下是白光干涉儀在測量三維形貌時的一些關鍵應用和特點: v4`"1Ss,K  
1. 高精度測量:白光干涉儀能夠提供亞納米級的測量精度,非常適合于納米或亞納米級別的超高精度加工領域的檢測需求。它在同等放大倍率下的測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡 。 %7IugHH9y  
2. 非接觸式測量:作為一種非接觸式測量技術,白光干涉儀不會對樣品表面造成損傷,這對于易損或敏感材料的測量尤為重要。 BW}U%B^.  
3. 快速測量:白光干涉儀的測量速度快,可以快速獲取表面形貌數(shù)據(jù),適合于快速檢測和質(zhì)量控制。 @