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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 第一層速率問題 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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renlgj	2024-08-26 12:36
第一層速率問題各位老師好，我家的鍍膜機(jī)鍍第一層時(shí)速度時(shí)-10多開始的，請(qǐng)問是什么原因？

ouyuu	2024-08-28 22:26
一般是溫度造成的，如果有離子源，離子源擋板先開30秒；如果只是電子槍，那么開擋板后3S清零一次會(huì)比較好。

renlgj	2024-09-15 12:32
謝謝1樓，

morningtech

2024-09-19 15:58

ouyuu:一般是溫度造成的，如果有離子源，離子源擋板先開30秒；如果只是電子槍，那么開擋板后3S清零一次會(huì)比較好。 (2024-08-28 22:26) i$$h6P#

膜林晶控儀內(nèi)部有開擋板后，15秒（時(shí)間可設(shè)，在材料參數(shù)最后1頁，如果是計(jì)算機(jī)控制，則參考材料1）內(nèi)出現(xiàn)的負(fù)厚度自動(dòng)丟棄功能，無需外部清零。
《探頭與接口》界面可以看到，最近一次自動(dòng)丟棄的負(fù)厚度累計(jì)值，很有意思的。
其實(shí)幾乎每一層開始前都會(huì)有這一現(xiàn)象的。而不僅僅是第一層。

yang6563017	2024-09-22 09:22
晶控的機(jī)臺(tái)基本上都有這種問題，如果有離子源就設(shè)定離子源檔板與電子槍檔板兩個(gè)打開時(shí)間不同時(shí)就可以有效改善，但沒辦法徹底根除。

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