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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 離子源充氧與充氬有何分別？ [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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wangxingyu	2007-04-15 09:48
離子源充氧與充氬有何分別？離子源充氧與充氬有何分別？

j123456789	2007-04-15 15:49
離子源充氧后會(huì)產(chǎn)生氧原子和氧離子，它們具有極其強(qiáng)的活性，作為氧化物膜沉積時(shí)的輔助，不僅能提高膜層的密度，還能改善其吸收！但，其會(huì)降低離子源的壽命��！充氬僅能提高膜層的密度，同時(shí)離子源的壽命會(huì)相對(duì)長(zhǎng)！

flyinlove79	2007-04-16 22:15
樓上的說(shuō)的好 [s:4]

jiayuch	2007-04-22 16:21
如果鍍得是氟化鎂就用氬氣嗎

yufe16	2008-06-17 22:41
氬氣流量大約是多少合適呢?高低折射率的材料用一樣的流量嗎？

liwenjuan

2008-06-18 18:16

這個(gè)問(wèn)題也是我一直思考的，好像是的純用氧氣的離子源鍍出的膜層是好點(diǎn)，壽命問(wèn)題真的是要考慮的，廠家可能也是拿著這個(gè)結(jié)果來(lái)對(duì)我們說(shuō)，而不會(huì)提到這個(gè)壽命的情況。
我也發(fā)現(xiàn)這種柵極用幾次就會(huì)有損傷。

不同的材料肯定是不同，這個(gè)除了廠家會(huì)給一些參考，也要自己摸索了

syw1984	2008-06-28 22:14
好像透過(guò)曲線有區(qū)別的

yufe16	2008-06-29 22:26
使用離子源的話，對(duì)真空室溫度有什么要求嗎》

yufe16	2008-06-29 22:27
使用離子源對(duì)真空室溫度有什么要求嗎？

拉比熊	2013-01-13 23:13
使用離子源對(duì)溫度沒(méi)有影響

ken_jinyan1	2013-01-28 15:02
我們公司的GENER1300 配的是霍爾的離子源。廠家調(diào)試的時(shí)候用的是O2， :v Do{My^1 說(shuō)的是氧氣和氬氣都是一樣的。氧氣流量50，氬氣流量30SCCM，我想問(wèn)一下 3bBCA9^se 離子源對(duì)膜料折射率是否有影響。

alex_xie	2013-01-30 21:47
使用氬氣，鍍出來(lái)的膜層致密性會(huì)好一點(diǎn)，可以氧氣氬氣一起用

flyinlove79	2013-02-02 00:00
熱心助人，鼓勵(lì)！

ken_jinyan1	2013-02-19 15:55
但是廠家的工程師和我說(shuō)MGF2不能用離子源，不知道原因。 3`+Bq+ 如果不能用的話，還怎么冷鍍膜呢？

a060103112	2013-02-27 11:32
jiayuch:如果鍍得是氟化鎂就用氬氣嗎 (2007-04-22 16:21) 'B9q&k%< q(\kCUy! 氟化鎂一般不用離子源，只有偶爾冷鍍用，就只加少量氬氣

愛(ài)哭的云彩

2017-08-09 18:39

j123456789:離子源充氧后會(huì)產(chǎn)生氧原子和氧離子，它們具有極其強(qiáng)的活性，作為氧化物膜沉積時(shí)的輔助，不僅能提高膜層的密度，還能改善其吸收！但，其會(huì)降低離子源的壽命�。〕錃鍍H能提高膜層的密度，同時(shí)離子源的壽命會(huì)相對(duì)長(zhǎng)！ (2007-04-15 15:49) L>&9+<-B

好有用

愛(ài)哭的云彩	2017-08-09 18:51
a060103112:氟化鎂一般不用離子源，只有偶爾冷鍍用，就只加少量氬氣 (2013-02-27 11:32) IXpn(vX r3dGXiu 原來(lái)是這樣呀

pyykun	2018-02-27 11:48
謝謝大神們�。�！

dcfcwdx	2018-03-03 21:44
受教了

yedewang	2018-05-08 16:09
非常有用

李某	2023-12-17 07:17
受教了