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infotek 2024-07-11 08:10

光柵階次分析器

摘要 $$< I}eMd>  
JAI.NKB3  
光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計(jì)算得到,對(duì)于光柵的每個(gè)衍射階次都給出了這兩個(gè)量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)來計(jì)算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器,可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 LafBf6wds  
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光柵詳細(xì)說明 e=eip?p  
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•為了演示一維光柵的光柵分析器,我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 h@\HPYi#.  
•可以在堆棧中指定光柵參數(shù),并且在光柵組件的編輯對(duì)話框中訪問該參數(shù)。 [9:";JSl"Y  
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光柵階次分析器設(shè)置 V<;_wO^  
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•定義光柵結(jié)構(gòu)后,可以配置光柵階次分析器。 ir>+p>s.  
•可以指定各種輸出選項(xiàng)。 Kp1 F"!  
•可以在光學(xué)設(shè)置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對(duì)話框。 j]]5&u/l  
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常規(guī)設(shè)置 inZ0iU9dy  
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•在“常規(guī)”選項(xiàng)卡中,可以選擇是否分析透射率和/或反射率。 B., BP  
•另外,可以指定是否要評(píng)估透射、吸收和反射的總和,以及是否要顯示極坐標(biāo)圖。 Ro<x#Uo  
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單個(gè)階次設(shè)置 w"#rwV&  
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•在“單個(gè)階次”選項(xiàng)卡中,可以選擇是否記錄單個(gè)階次的信息。 TXS`ey  
•如果想使用VirtualLab Fusion的參數(shù)運(yùn)行或參數(shù)優(yōu)化來分析和優(yōu)化特定階次的光柵,則此選項(xiàng)非常有用。 8 Gy*BpmJn  
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單個(gè)階次設(shè)置