薄元近似（TEA）與傅立葉模態(tài)方法（FMM）在光柵建模中的對(duì)比

摘要 FX!KX/OE)  
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薄元近似（TEA）是一種廣泛使用的方法，例如傅立葉光學(xué)計(jì)算光柵的衍射效率。 然而，眾所周知，相對(duì)較小的光柵周期，該近似變得不準(zhǔn)確。 在此示例中，我們選擇兩種類型的透射光柵：正弦光柵和閃耀光柵。 我們同時(shí)使用TEA和FMM（也稱為RWCA，是嚴(yán)格算法）來分析具有不同周期的此類光柵，并通過比較結(jié)果來研究這兩種方法的特性。 #Z1%XCt  
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