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2024-07-09 08:08 |
高數(shù)值孔徑(NA)物鏡的聚焦分析
1. 摘要 fx>4
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高NA物鏡廣泛用于光刻，顯微等技術(shù)。因此，聚焦仿真中考慮光的矢量性質(zhì)至關(guān)重要。VirtualLab可以非常便捷地對此類鏡頭進行光線追跡和場追跡分析。通過場追跡，可以清楚地觀察由于矢量效應(yīng)引起的聚焦光斑失對稱現(xiàn)象。利用相機探測器和電磁場探測器能夠?qū)劢箙^(qū)域進行靈活全面的研究，進而加深對矢量效應(yīng)的理解。 =zKM=qba
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