如何選擇激光共聚焦和白光干涉儀
在精密測(cè)量領(lǐng)域，激光共聚焦顯微鏡和白光干涉儀是兩種不同的高精度光學(xué)測(cè)量?jī)x器。它們各自有著獨(dú)特的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)和應(yīng)用場(chǎng)景。選擇哪種儀器更好，取決于具體的測(cè)量需求和樣品特性。在選擇適合特定應(yīng)用的技術(shù)時(shí)，需要仔細(xì)考慮其特點(diǎn)和功能。 heScIe
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白光干涉儀 0M!Goqa A
白光干涉儀是0.1nm縱向分辨率的光學(xué)3D輪廓儀，主要用于表面形貌的非接觸式測(cè)量，能夠提供納米級(jí)分辨率的表面高度信息。它適合于測(cè)量光滑表面和具有高深寬比的結(jié)構(gòu)，如半導(dǎo)體晶片、液晶產(chǎn)品、光纖產(chǎn)品等。 1ZY~qP+n+
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1、優(yōu)點(diǎn) sBa&]9>m
高精度測(cè)量：能準(zhǔn)確測(cè)量亞納米級(jí)的超光滑表面。 elz0t<V
非接觸式測(cè)量：3D非接觸式測(cè)量方式，不會(huì)對(duì)樣品造成損傷，適合測(cè)量敏感或易損的表面。 yX.; x 0
高速度測(cè)量：測(cè)量速度快，能夠在短時(shí)間內(nèi)完成大面積樣品的測(cè)量。 k D}vK+
大視野：適用于大范圍光滑樣品的測(cè)量，尤其擅長(zhǎng)亞納米級(jí)超光滑表面的檢測(cè)。 l4ru0V8s7
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2、應(yīng)用：半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。 5c$\DZ(
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激光共聚焦顯微鏡 oSLm?Lu
激光共聚焦顯微鏡是具備3D真彩圖像的納米級(jí)光學(xué)輪廓儀。它利用激光的單色性和相干性，通過共聚焦的方式將激光束聚焦到樣品上，具有非常高的分辨率和靈敏度，能夠測(cè)量?jī)A斜角近乎90度的漫反射斜坡面形貌，尤其擅長(zhǎng)大坡度、低反射率的粗糙表面形貌測(cè)量。 ]G Blads
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1、優(yōu)點(diǎn) U(2=fKK;
色彩斑斕的成像：提供色彩斑斕的真彩圖像，便于觀察和分析。 bnZ H
微納級(jí)粗糙輪廓檢測(cè)：擅長(zhǎng)微納級(jí)粗糙輪廓的檢測(cè)，雖然在檢測(cè)分辨率上略遜于白光干涉儀，但成像效果更佳。 \. a
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