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2024-05-10 07:57

用于光學(xué)測(cè)量的菲索干涉儀

摘要

斐索干涉儀是工業(yè)中常見(jiàn)的光學(xué)計(jì)量設(shè)備，它們通常用于光學(xué)表面質(zhì)量的高精度測(cè)試。借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡，我們構(gòu)建了一個(gè)菲索干涉儀，并利用它測(cè)試了不同的光學(xué)表面，例如圓柱形和球形。可以看出，產(chǎn)生的干涉條紋對(duì)表面輪廓具有敏感性。