| infotek |
2024-04-11 08:02 |
傾斜光柵的參數(shù)優(yōu)化與容差分析
摘要 w@4+&v>O
gDrqs >8
對于許多應(yīng)用來說（例如背光、光學(xué)連接器和近眼顯示），如何將光高效地耦合到波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中是一個(gè)重要的問題。對于這些應(yīng)用，傾斜光柵因?yàn)槟軌蚋咝У伛詈蠁紊舛皇熘�。在此示例中，介紹了使用嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對傾斜光柵進(jìn)行優(yōu)化。對于給定的方向級次，優(yōu)化的光柵展示出超過90％的衍射效率。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 f{J7a1 `_
=W6P>r_
[attachment=127826] d$ /o\G
VmW_,
設(shè)計(jì)任務(wù) U8d wb
q&.!*rPD
[attachment=127827] kF5}S8B
2+' &||h
1級參數(shù)優(yōu)化 srC jq
LRs{nN.N
[attachment=127828] /s wT n1<Y
#X)s=Y&5!T
結(jié)果-容差分析 1)%o:Xy o
dZm{?\^_
[attachment=127829] Lh+^GQ
{Hb _o)S
結(jié)果-容差分析 0YS*=J"7 z
T]:5y_4?[
[attachment=127830] Deam%)bXM]
2`z+_DA
VirtualLab Fusion一瞥 +5Mx0s(5
Qcw/>LaL:
[attachment=127831] H=dj\Br`
zIL.R#|D=
VirtualLab Fusion中的工作流程 UkdQ#b1
`1P
&
構(gòu)建光柵結(jié)構(gòu) DCNuvrZ
−使用特殊材料的光柵結(jié)構(gòu)設(shè)定[用例] /A>/]2(
−傾斜光柵高級設(shè)定[用例] .VI2V-Q
•光柵衍射效率分析 f _
::?
−光柵階序分析器[用例] )a.U|[:y[+
•使用參數(shù)優(yōu)化進(jìn)行光柵參數(shù)優(yōu)化 bZ389dSn
•使用參數(shù)運(yùn)行的容差分析 2 9E^]IL?
}SYvGp{J,
[attachment=127832] qn<~
LxQ
:!R+/5a
VirtualLab Fusion技術(shù) cgU7)`0j
/g_}5s-Z
[attachment=127833]
|
|