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2024-04-02 08:22 |
構(gòu)造二維周期性光柵結(jié)構(gòu)
復(fù)雜光柵結(jié)構(gòu)被廣泛應(yīng)用于光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等領(lǐng)域。VirtualLab Fusion 軟件用傅立葉模態(tài)法（FMM,或者RCWA）一種簡(jiǎn)易的仿真方法來(lái)嚴(yán)格分析任意的光柵結(jié)構(gòu)。使用圖形用戶(hù)界面，可以設(shè)置堆棧的幾何圖形，從而生成復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。 此例程主要用于構(gòu)建具有二維周期性特征的光柵。[attachment=127572] • 光柵工具箱中構(gòu)建二維光柵的方法 − 基于介質(zhì)定義的類(lèi)型 − 基于界面定義的類(lèi)型 YF13&E2`\
• 計(jì)算之前修改高級(jí)選項(xiàng)和檢查定義的結(jié)構(gòu)的方法。 C 4\Q8uK
• 提示：在VirtualLab軟件中的光柵結(jié)構(gòu)中，表現(xiàn)為二維周期性的被稱(chēng)作 三維光柵。同樣的，層狀光柵（一維周期性）被稱(chēng)作二維光柵。 `YK#m 4 gc
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初始化光柵工具箱 x-SY fvYY
• 初始化 I>@Qfc
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− 開(kāi)始菜單欄 (Start) G \
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光柵菜單欄(Grating) <s5s<q2
通用光柵光路圖（三維光柵） General Grating Light Path Diagram(3D Gratings) :JzJ(q/
[attachment=127573] • 提示：對(duì)于特殊類(lèi)型的光柵，例如柱形光柵， \PK}4<x}
可以在光柵工具箱中直接點(diǎn)擊柱形光柵光路 g;!,2,De}
圖（三維光柵）(Pillar Grating Light d0-T\\U
Path Diagram(3D Gratings)) +qmV|$rm M
Ai5D[ykX
設(shè)置光柵結(jié)構(gòu) Q}]RB$ZS
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`EI} g
• 首先，需要定義基底(Base Block)的厚度和介質(zhì)。 "ax"k0
• VirtualLab中光柵結(jié)構(gòu)在堆棧(stack) 中定義。 3!u:*ibt
• 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同時(shí)添加堆棧(stack)。[attachment=127574] NV9H"fI
• 例如，圖中在前表面添加了堆棧(stack)。 +<n8O~h
[attachment=127575] 基于材料定義光柵的類(lèi)型（例程： 柱形光柵） \Gy+y`
堆棧編輯器 \ >
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在堆棧編輯器(Stack Editor)中，界面和材料可以從中目錄(catalog) 中添加。 3 ~\S]
• 為了用一種特殊的介質(zhì)定義光柵，需要添加兩個(gè)平面界面，作為介質(zhì)的邊界。 9C\@10
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