上海光機(jī)所在EUV和軟x射線分束器方面首次取得進(jìn)展
近日，中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所高功率激光物理聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室張軍勇副研究員團(tuán)隊(duì)聯(lián)合哈爾濱工業(yè)大學(xué)趙永蓬教授課題組首次完成EUV和軟x射線分束器的設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，該研究有望解決極紫外和x射線波段的衍射成像和干涉?zhèn)鞲械姆质魇芟迒栴}。相關(guān)成果以“Azimuthally extreme‑ultraviolet focal splitter by modified spiral photon sieves”為題，發(fā)表于APL Photonics。 %3xH<$Gq5
菲涅耳波帶片概念由菲涅耳于1818年提出，并在二十世紀(jì)六十年代成功應(yīng)用于x射線聚焦。2001年，聚焦性能優(yōu)于波帶片的光子篩出現(xiàn)，短波的高性能聚焦有了除波帶片外新的器件選擇。但傳統(tǒng)的波帶片和光子篩受限于單焦特性，無(wú)法滿足短波衍射成像和干涉?zhèn)鞲械募夹g(shù)需求，隨著高相干短波光源技術(shù)的突破，對(duì)EUV和x射線的分束器件的需求愈發(fā)迫切。 I FG`
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