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2024-03-06 07:55 |
使用自定義的評價函數(shù)優(yōu)化高NA分束器
摘要 l sUQ7%f
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由于相位和結(jié)構(gòu)之間的直接關(guān)系，衍射分束鏡通常采用一定的傍軸近似來設(shè)計，這些算法也提供了這種近似，反之亦然。在非傍軸或甚至高NA分束器的情況下，這些近似將引入一些不準(zhǔn)確性，因此，如果不進行額外嚴(yán)格的后優(yōu)化，至少建議進行嚴(yán)格的分析。在這個用例中，使用奇數(shù)衍射級對典型的二元1:6分束器執(zhí)行這樣嚴(yán)格的評估。為此，對初始系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)進行了參數(shù)化，并通過可編程光柵分析器定義了一組自定義的評價函數(shù)。對于參數(shù)優(yōu)化和后續(xù)的公差分析，使用嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法 (FMM)。 U(i2j)|^I3
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建模任務(wù) 4I2ppz
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衍射分束面初始設(shè)計(*) tM !1oWH
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1. 采用VirtualLab Fusion的迭代傅里葉變換算法(IFTA)設(shè)計工具計算了分束器的初始相位函數(shù)。 q 2= ^l
2. 對于高度輪廓的轉(zhuǎn)換，采用了基于薄元件近似(TEA)的結(jié)構(gòu)設(shè)計。 r2H]n.MT
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(*)不是這個用例的一部分 (**)這些會話編輯器在衍射光學(xué)工具箱銀版中可用。 `%rqQnVB
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TEA和等距抽樣結(jié)構(gòu)的局限性 vbA9 V<c&
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TEA非常適合于最小特征尺寸不小于約5倍波長的情況。如果不是這樣，振幅/相位分布與設(shè)計高度輪廓相互作用后可能會顯示出與期望值的相關(guān)偏差。 7]
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因此，需要進行嚴(yán)格的評估。 7$b78wax
對于參數(shù)優(yōu)化，需要對結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)進行不同的定義。 B\N,%vsx#U
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后優(yōu)化的數(shù)據(jù)準(zhǔn)備(參數(shù)化) i%-c/ lop
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衍射分束器表面進一步優(yōu)化 b /<n:*$
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哪個衍射級次有哪些評價函數(shù)？ _D
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利用可編程光柵分析器 qzV:N8+,`
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分束器初始設(shè)計的嚴(yán)格分析 X;zy1ZH
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設(shè)置優(yōu)化參數(shù) D(L%fK`
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