JCMsuite應(yīng)用:閃耀光柵
這是一維周期線(xiàn)光柵案例的一個(gè)變形。它的靈感來(lái)自閃耀光柵。在一維線(xiàn)柵的案例中,周期單元晶胞包含通過(guò)光柵的二維橫截面。這里的橫截面包含兩個(gè)寬度、高度和角度不同的三角形。這些三角形線(xiàn)條位于襯底上,被背景材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(線(xiàn)柵)、玻璃(基底)和空氣(背景材料)。 v8uUv%Hkd
[attachment=125955] 'Q7t5v@FF 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算近場(chǎng)分布。同時(shí)通過(guò)后處理傅里葉變換計(jì)算透射衍射級(jí)次的振幅。下圖顯示了當(dāng)波長(zhǎng)為193nm時(shí),平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場(chǎng)強(qiáng)度。 *
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[attachment=125956] S偏振光照明的近場(chǎng)強(qiáng)度 b<r*EY [attachment=125957] P偏振光照明的近場(chǎng)強(qiáng)度
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