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2024-01-30 08:09 |
光柵級次分析器
摘要 blA]z!FU
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分析特定衍射級的衍射效率是光柵結(jié)構(gòu)的典型建模任務(wù)。由于特征尺寸和周期較小，與使用的光波長相當，因此必須通過嚴格的方法計算效率。眾所周知的FMM或RCWA是解決此任務(wù)的一種常用算法，在VirtualLab Fusion中也可用。這種全矢量方法的結(jié)果是復(fù)數(shù)瑞利系數(shù)，它包含每階所需的所有場信息，從中可以獲得相應(yīng)的效率。VirtualLab Fusion中的光柵順序分析器幫助我們生成并以圖像方式顯示復(fù)雜光柵結(jié)構(gòu)（一維/二維周期）的所有信息。 hDs.4MZC`
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光柵規(guī)格 Q{Ls r,
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•為了演示光柵階數(shù)分析器，使用了具有正弦光柵形狀的一維光柵以及多層光柵。 a4M`Bk;mb
•操作中的層，提供高反射（HR）功能。 $MG. I[h
•光柵參數(shù)在堆棧中設(shè)定，其通過光柵組件的編輯對話框中完成。 0yxMIX
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光柵級次分析器設(shè)置 U"v}br -kb
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•定義光柵結(jié)構(gòu)后，可使用所需的光柵級次分析器計算瑞利系數(shù)和相關(guān)衍射特性。 (FAd'$lhX}
•此外，各種輸出選項可用于顯示結(jié)果。 <XxFR
•這是通過分析器的編輯對話框完成的，該對話框通過雙擊光學設(shè)置視圖中的相應(yīng)元件顯示。 /Iu._ 2
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通用設(shè)置 S:"t]gbF =
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•在“常規(guī)”選項卡中，您可以選擇分析透射或反射。 Z qg(\
•此外，您可以指定光柵分析器輸出需要的文件。 0R2 AhA#
−級次收集：生成一種類型的文檔，該文檔提供視場/光強在級次中的分布方式的可視化表示，并包含以數(shù)字形式顯示的信息。級次收集是為傳輸和反射單獨生成的。有關(guān)級次收集文檔的更多信息，請參見下一張幻燈片。 [y T4n.f
−單級次輸出：激活菜單右側(cè)的“單級次”選項卡。（見下頁）
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−總和傳輸，吸收和反射：相應(yīng)的信息（即，能量在這三種效應(yīng)中如何分布，不進一步將結(jié)果細分為單個光柵級次，而是作為總值）將顯示在探測器結(jié)果選項卡中，或作為參數(shù)運行或參數(shù)優(yōu)化的結(jié)果。 1W5\
−極坐標圖（角度）：生成另一個文檔，該文檔提供不同顯示光柵級次的可視化，其中顯示的角度對應(yīng)于級次的衍射角，半徑表示效率。這種類型的可視化僅限于單個平面。有關(guān)極坐標圖文檔的更多信息，請參見下一張幻燈片。 |8"~ou:.
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單級次設(shè)置
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•在“常規(guī)”選項卡中選擇“單級次輸出”選項時，激活“單級次”選項。您可以在其中選擇應(yīng)記錄的單級次信息。 ~R
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