| szzhongtu5 |
2023-10-19 17:30 |
納米級測量儀器：窺探微觀世界的利器
納米科技的迅猛發(fā)展將我們的視野拓展到了微觀世界，而測量納米級尺寸的物體和現(xiàn)象則成為了時(shí)下熱門的研究領(lǐng)域。納米級測量儀器作為一種重要的工具，扮演著重要的角色。那么，如何才能準(zhǔn)確測量納米級物體呢？ /t/q$X
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在納米級測量中，由于物體尺寸的相對較小，傳統(tǒng)的測量儀器往往無法滿足精確的要求。而納米級測量儀器具備高精度、高分辨率和非破壞性的特點(diǎn)，可以測量微小的尺寸。 07#!b~N
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1、光學(xué)3D表面輪廓儀 J0oR]eT}
SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓儀以白光干涉技術(shù)原理，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。 [ M'1aBx^
2、激光共聚焦顯微鏡 N.<hZ\].=
VT6000激光共聚焦顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法共同組成測量系統(tǒng)，能用于各種精密器件及材料表面的非接觸式微納米測量。能測量表面物理形貌，進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。 XC$~!
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3、臺(tái)階儀 A1_x^s
CP200臺(tái)階儀不同于光學(xué)輪廓儀和顯微鏡的是它的測量方式是接觸式探針測量。它可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。線性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13um量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。 e`oc#Od&x]
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除了上述所提及的儀器外，還有一些其他的納米級測量儀器也日益成為研究的熱點(diǎn)，例如激光干涉儀。這些測量工具各有特點(diǎn)，可用于不同的納米級尺寸測量需求。 aJF `rLm
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