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2023-09-07 08:25 |
衍射光學(xué)元件(DOE)和微結(jié)構(gòu)元件
摘要 '"H'#%RU *pMgjr 衍射光學(xué)元件(DOEs)和微結(jié)構(gòu)表面實(shí)現(xiàn)了各種各樣的光學(xué)功能,如分束器,光束整形器和擴(kuò)散器。由于衍射方法,這些元件通常比大多數(shù)折射元件更薄和更輕,同時(shí)為光學(xué)中的許多應(yīng)用提供了獨(dú)特和強(qiáng)大的選擇。在這個(gè)用例中,我們演示了如何在VirtualLab Fusion中使用微結(jié)構(gòu)和衍射光學(xué)元件(DOE)元件定義這樣的元件。 XD5z+/F<"0 x}G["ZU}v] 在哪里可以找到元件 (;o,t?:d Ix,`lFbH 衍射光學(xué)元件(DOE)和微結(jié)構(gòu)元件可以在元件 >單一表面 &堆棧中找到。 mAk@Q|u 3_Su5~^ 這兩個(gè)元件使用相同的內(nèi)部求解器,只是為了便于識(shí)別和應(yīng)用而有不同的名稱。在這個(gè)用例中,我們將展示微結(jié)構(gòu)元件,但一切都可以類似地應(yīng)用到衍射光學(xué)元件(DOE)。 Q"UQv< &~+lXNXF 微結(jié)構(gòu)元件的功能 ^ ~HV`s DRLX0Ml]\ /@5X0m 對(duì)于光通過(guò)期望的微結(jié)構(gòu)的傳播,微結(jié)構(gòu)元件應(yīng)用了一一個(gè)復(fù)數(shù)面響應(yīng),這意味著元件對(duì)所有場(chǎng)入射光的振幅和相位的響應(yīng)函數(shù)。該響應(yīng)函數(shù)既可以直接定義為傳輸函數(shù),也可以通過(guò)應(yīng)用薄元件近似TEA)對(duì)給定的高度剖面進(jìn)行計(jì)算。 l>RW&C&T &p1Et 基底界面 Y`QJcC(3 Gw6*0&3') 在固體選項(xiàng)卡上,定義一般參數(shù),比如特定表面后面的介質(zhì),也就是預(yù)期結(jié)構(gòu)所在的地方。用戶可以利用不同材料的擴(kuò)展庫(kù)來(lái)選擇,或使用色散公式如賽米爾方程定義自己的材料。 (m[]A&u L Ty[) 定義為復(fù)數(shù)表面響應(yīng) gqaENU> ,z1X{ 在通道操作員選項(xiàng)卡上,可以通過(guò)設(shè)置復(fù)數(shù)傳輸函數(shù)來(lái)定義所需DOE的復(fù)雜表面響應(yīng)... r"OVu~ND '&5A*X]d 定義為堆!鎸(shí)高度剖面 [-cYFdt"V L&F0^ dA[Z\ 微結(jié)構(gòu)的方向 Oslbt8)U6 pHlw&8(f" 應(yīng)用解算器 KaC+x-%K I\O<XJO)_ tL1"Dt> 精度系數(shù) :qi"I;=6 bWK}oYB* #$xiqL 添加背面 $u`y F8km8lPQl 由于微結(jié)構(gòu)元件只定義了微結(jié)構(gòu)所在的表面,因此為了在基板上配置元件,背面是必要的。這可以通過(guò)在元件 > 單一表面&薄膜下添加平面來(lái)實(shí)現(xiàn),并配置適當(dāng)?shù)木嚯x(基板厚度)和材料。 _f%Wk>A4 v;X'4/M
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