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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 鍍膜穩(wěn)定性的討論1-充氧 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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ouyuu

2023-04-04 09:07

鍍膜穩(wěn)定性的討論1-充氧

首先聲明一下，在這里表達(dá)的只是個(gè)人看法，并不一定有道理。
關(guān)于鍍膜，大家都追求的是鍍膜的連續(xù)性和穩(wěn)定性。
甚至為了穩(wěn)定性，一些鍍膜機(jī)廠家寧可犧牲性能。
比如說(shuō)鍍膜過(guò)程中使用APC充氧：
很多人認(rèn)為APC充氧只是為了給類(lèi)似于TiO2這些易失氧膜料進(jìn)行補(bǔ)氧。
其實(shí)不然。使用離子源的情況下，氧其實(shí)是足夠的。
APC充氧還有一個(gè)重要的目的，維持鍍膜環(huán)境的穩(wěn)定性。
APC是自動(dòng)壓力控制的英文縮寫(xiě)，它能起到穩(wěn)定真空腔體真空度的作用。

在真空中，有個(gè)平均自由程的概念，一個(gè)粒子平均運(yùn)動(dòng)多遠(yuǎn)才能和其他粒子碰撞。
真空度越高，平均自由程越長(zhǎng)，電子槍和離子源發(fā)出來(lái)原子或者離子就會(huì)更多的到達(dá)基板表面。
但是隨著腔體的逐漸變臟，鍍膜時(shí)候的真空度會(huì)變差，到達(dá)基板的原子和離子就會(huì)變少。
一般會(huì)表現(xiàn)為外圈和內(nèi)圈的分布變化，還有折射率的變化。
為了讓分布和折射率穩(wěn)定，在鍍膜過(guò)程中使用APC是個(gè)解決的辦法。

APC充氧口（也有充氮，充其他氣體的）的位置也很重要。
如果是補(bǔ)氧和維持真空度兼而有之的，一般充氧口放在底板的中心位置。
如果有其他特殊原因（比如說(shuō)工藝和外觀的要求），會(huì)有在傘圈下方100mm處放置一個(gè)充氧環(huán)，
均勻開(kāi)孔以便于均勻充氧。

ouyuu

2023-04-04 09:34

補(bǔ)充幾個(gè)和真空相關(guān)的因素：
1，真空計(jì)污染：皮拉尼真空計(jì)容易受污染，
所以清掃機(jī)臺(tái)的時(shí)候最好拆掉。清掃完再裝上。

2，擴(kuò)散泵返油：使用劣質(zhì)回收油，或者擴(kuò)散泵口冷卻板冷卻不好的時(shí)候，
擴(kuò)散泵容易返油，返油也會(huì)造成脫膜，膜質(zhì)不好，分布問(wèn)題。

coldking	2023-04-04 15:28
我都關(guān)掉鍍膜,因?yàn)镹BPF蒸鍍機(jī)開(kāi)了鍍膜DWDM鍍不出來(lái) i`spM<iR. a VMFjkW !Z)^c&

coldking	2023-04-04 15:29
coldking:我都關(guān)掉鍍膜,因?yàn)镹BPF蒸鍍機(jī)開(kāi)了鍍膜DWDM鍍不出來(lái) 7L"/4w (2023-04-04 15:28) sxtGl^,mU: .EwK>ro4 APC不開(kāi)也是可以,但是對(duì)於開(kāi)或不開(kāi)我還是沒(méi)弄明白

ouyuu	2023-04-08 00:27
coldking:我都關(guān)掉鍍膜,因?yàn)镹BPF蒸鍍機(jī)開(kāi)了鍍膜DWDM鍍不出來(lái) 9 pn1d. (2023-04-04 15:28) &PX'=UT ~4 ab\hq 光馳機(jī)做的比較高，鍍膜距離比較長(zhǎng)，沒(méi)有充氧的余量了。

譚健	2023-04-09 13:26
謝謝分享 ]Ea-?IhD

阿俊	2023-04-14 15:48
支持樓主！

jzdxzw	2023-05-19 16:06
大佬，擴(kuò)散泵返油一般怎么去排查呢？或者說(shuō)有設(shè)備/產(chǎn)品哪些異常的現(xiàn)象 0/$sr;

逸軒yx	2024-03-26 13:47
取掉百葉窗，進(jìn)入高真空室查看高閥周?chē)欠翊嬖谟新┯�、滲油跡象？設(shè)備檢查 9EEHLx" c1[;a> 產(chǎn)品 U!4 ^; 膜層脫落。干拉/水煮百格NG

逸軒yx	2024-03-26 13:48
jzdxzw:大佬，擴(kuò)散泵返油一般怎么去排查呢？或者說(shuō)有設(shè)備/產(chǎn)品哪些異常的現(xiàn)象 [7bY( (2023-05-19 16:06) ?NL2\|8 #xmUND`@ 取掉百葉窗，進(jìn)入高真空室查看高閥周?chē)欠翊嬖谟新┯汀B油跡象？設(shè)備檢查 m ]\L1& f*Kipgp 產(chǎn)品 ]n{2cPx5d 膜層脫落。干拉/水煮百格NG

comebackz	2024-07-31 20:23
謝謝分享

quan6658	2024-08-29 13:57
鍍鈦開(kāi)APC產(chǎn)品很容易發(fā)白，鍍鉭沒(méi)必要充APC，所以我選擇不開(kāi)

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