應(yīng)用衍射擴(kuò)散器均勻化準(zhǔn)分子激光光束

F!qt=)V@w   摘要：這個(gè)案例分析了由衍射擴(kuò)散器元件實(shí)現(xiàn)的單色準(zhǔn)分子激光光束的均勻化，最終生成一個(gè)圓形高帽。 N;mJHr3[F   +"GBuNh   1.建模任務(wù) _2~+%{/m,   H63?Erh>a   Cc}3@Nf{/   2.光源參數(shù) r(OH   GzEv p   q~6a$ 8+t   8k9Yoht   %@MO5#)NI   • LED模型：Gaussian Type Planar Source（高斯型平面光源） f~P~%   • 光源平面直徑：100μm×100μm s0\}Q=s[   • 空間相干長(zhǎng)度：3μm×3μm ;|r <mT/,   • 相應(yīng)的發(fā)散角（HWHM）：～0.89×0.89° ]Il}ymkIZ   • 波長(zhǎng)：351nm |*>s%nF|   BK)3 b6L=%   3. 衍射擴(kuò)散器透過率函數(shù) .Ge`)_e   <TEDqQ   Zt ;u8O   一個(gè)衍射勻光元件,可以使用一個(gè)具有如下技術(shù)參數(shù)的衍射擴(kuò)散器透過率函數(shù)來模擬： z*e`2n#\   • Phase-Only元件 bR*} s/   • 采樣距離：5μm p>h}k_s   • 大小：640μm×640μm 0WQd#l   • 相位級(jí)：8 S5/p3;O\c   • 生成的目標(biāo)模式：圓形高帽 ,u S)N6'b6   &1FyauH   Fp~0 ^   OICH:(t_   4. 光源的輻射特性 b NR@d'U   G]RFGwGt