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在一個(gè)微鏡激光掃描系統(tǒng)中鏡像差對(duì)光束質(zhì)量的影響
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infotek
2023-03-21 08:39
在一個(gè)微鏡激光掃描系統(tǒng)中鏡像差對(duì)光束質(zhì)量的影響
g={]Mzh
^E$(1><-a
概括案例
PNbcy!\U
xN`r4
1.系統(tǒng)細(xì)節(jié)
ZU-4})7uSB
光源
d$fvg8^
- 綠色激光二極管
EWb(uWC8h
元件
jVad)2D
- 基于單掃描微鏡的激光掃描系統(tǒng),例如MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))
'u(=eJ@1
探測(cè)器
Ak5[PBbW
- 光線(xiàn)可視化檢查(3D顯示)
>-5td=:Z
- 場(chǎng)分布和相位計(jì)算
jq57C}X}2
- 光束參數(shù)(M2值,發(fā)散角)
|P~O15V*Q
建模/設(shè)計(jì)
uw Kh
- 光線(xiàn)追跡:首先概覽系統(tǒng)性能
^^7L"je]g
- 場(chǎng)追跡:
rH$eB/#F
√ 光束傳播包含表面像差
%n05Jitl
√ 分析生成光束的形狀和質(zhì)量
17>5#JLP
[)#u<lZ<~
2.系統(tǒng)圖片
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\G$QNUU
qDnCn H
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3.模擬和設(shè)計(jì)結(jié)果
:`0'GM" `
鏡像差(由澤尼克多項(xiàng)式表示):
J| SwQE~
t=n+3`g
k"">2#V
XC|*A$x,
4.總結(jié)
|DN^NhtE
w4\BD&7V
基于單掃描微鏡的激光掃描系統(tǒng)(例如MEMS)中的鏡像差進(jìn)行建模和仿真。
CO-Iar
1) 模擬
t< sp%zXZ
通過(guò)使用光線(xiàn)追跡方法驗(yàn)證激光掃描設(shè)置
{(rf/:X!p
2) 建模
EjWgaV
使用澤尼克標(biāo)準(zhǔn)界面來(lái)模擬靜態(tài)或動(dòng)態(tài)形式的復(fù)雜鏡面像差
zlH28V
3) 分析
tNK^z7Dm
為了計(jì)算場(chǎng)分布和評(píng)價(jià)光束形狀和參數(shù),應(yīng)用經(jīng)典場(chǎng)追跡引擎
"\}b!gl$8
{7vgHutp
復(fù)雜的系統(tǒng),如基于單微鏡的激光掃描儀可以通過(guò)使用VirtualLab Fusion來(lái)模擬。此外,幾乎所有類(lèi)型的表面變形都可以通過(guò)引入澤尼克像差到掃描鏡來(lái)模擬。因此,可以根據(jù)掃描的位置評(píng)估光束形狀和質(zhì)量。
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