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infotek 2023-03-21 08:39

在一個(gè)微鏡激光掃描系統(tǒng)中鏡像差對(duì)光束質(zhì)量的影響

g={]Mzh  
^E$(1><-a  
概括案例
PNbcy!\U  
xN`r4  
1.系統(tǒng)細(xì)節(jié) ZU-4})7uSB  
 光源 d $fvg8^  
- 綠色激光二極管 EWb(uWC8h  
 元件 jVad)2D  
- 基于單掃描微鏡的激光掃描系統(tǒng),例如MEMS(微機(jī)電系統(tǒng)) 'u(=eJ@1  
 探測(cè)器 Ak5[PBbW  
- 光線(xiàn)可視化檢查(3D顯示) >-5td=:Z  
- 場(chǎng)分布和相位計(jì)算 jq57C}X}2  
- 光束參數(shù)(M2值,發(fā)散角) |P~O15V*Q  
 建模/設(shè)計(jì) uw Kh  
- 光線(xiàn)追跡:首先概覽系統(tǒng)性能 ^^7L"je]g  
- 場(chǎng)追跡: rH$eB/#F  
√ 光束傳播包含表面像差 %n05 Jitl  
√ 分析生成光束的形狀和質(zhì)量 17>5#JLP  
[)#u<lZ<~  
2.系統(tǒng)圖片 tYs8)\{  
\G$QNUU  
qDnCn H  
_1>SG2h{fV  
3.模擬和設(shè)計(jì)結(jié)果 :`0'GM" `  
鏡像差(由澤尼克多項(xiàng)式表示): J| SwQE~  
t=n+3`g  
k"">2#V  
XC|*A$x,  
4.總結(jié) |DN^NhtE  
w4\BD&7V  
基于單掃描微鏡的激光掃描系統(tǒng)(例如MEMS)中的鏡像差進(jìn)行建模和仿真。 CO-Iar  
1) 模擬 t< sp%zXZ  
通過(guò)使用光線(xiàn)追跡方法驗(yàn)證激光掃描設(shè)置 {(rf/:X!p  
2) 建模 EjWgaV  
使用澤尼克標(biāo)準(zhǔn)界面來(lái)模擬靜態(tài)或動(dòng)態(tài)形式的復(fù)雜鏡面像差 zlH28V  
3) 分析 tNK^z7Dm  
為了計(jì)算場(chǎng)分布和評(píng)價(jià)光束形狀和參數(shù),應(yīng)用經(jīng)典場(chǎng)追跡引擎 "\}b!gl$8  
{7vgHutp  
復(fù)雜的系統(tǒng),如基于單微鏡的激光掃描儀可以通過(guò)使用VirtualLab Fusion來(lái)模擬。此外,幾乎所有類(lèi)型的表面變形都可以通過(guò)引入澤尼克像差到掃描鏡來(lái)模擬。因此,可以根據(jù)掃描的位置評(píng)估光束形狀和質(zhì)量。 ~?#~