| cyqdesign |
2022-11-25 11:54 |
國內(nèi)首款全自主計算光刻EDA軟件研發(fā)成功
近日，光谷企業(yè)成功研發(fā)出全國首款完全自主可控的OPC軟件。OPC軟件，即“光學鄰近校正軟件”，是芯片設計工具EDA的一種，沒有它，即使用了光刻機，也造不出芯片。 2lfEJ w($
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記者尚大原：“所謂光刻，就是把這個黑色版圖上的電路圖形通過光學成像的方式呈現(xiàn)在這塊紅色的硅片上，就像是照相機照相片，但是隨著芯片關鍵尺寸從90nm到32nm不斷降低，相片上的圖形會不可避免地出現(xiàn)失真，而OPC軟件就是避免這種失真。” pk
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