| ouyuu |
2022-11-15 22:43 |
關(guān)于射頻中和器陰極材質(zhì)和形狀的一點知識
最近接到新柯隆射頻離子源的中和器問題的問詢比較多，大多數(shù)問題和客戶一起解決了。 E{Y) = tW[
新柯隆中和器因為是自匹配（沒有手調(diào)的地方），所以一旦發(fā)生問題，很多客戶都是一頭霧水。 $ x 1PU 67
我在這里普及一點我知道的知識，希望大家碰到問題的時候能夠給一些幫助。 GH6 ozWA
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很多中和器問題的原因1：陰極的材質(zhì) e^Lt {/
新柯隆老款是鎳，新款是鉭。（中間有摻雜，并非純的） ,~xX[u B
鎳的優(yōu)點是軟，容易修正形狀。但是鎳在300度以上很容易氧化。 h*X
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我客戶新舊兩款中和器上，同樣的副廠鎳電極，同樣的冷卻時間。 ^U@E rc#d
老款中和器穩(wěn)定運行，但是新款設(shè)備的鎳電極很快就氧化了。 hX sH9R
（陶瓷杯內(nèi)部很多渣，產(chǎn)品表面麻點，中和器不穩(wěn)定） 7S]akcT/
估計是新老兩款中和器的溫度或者散熱速度不一樣。 !T8 h+3 I
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鉭的優(yōu)點是耐氧化，但是一旦加熱就會變脆，一旦變形無法修正。 yBwCFn.uP-
原廠的鉭電極一般壽命在1年左右。（根據(jù)我客戶問我購買的頻度推測） 73d7'Fw
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問題的原因2：陰極的形狀和工藝 >Sh"/3%q
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新柯隆的原廠鉭中和器陰極已經(jīng)改進了形狀，大大減小了變形。 xs3t~o3y
副廠中和器有先卷成筒然后切割的，也有先切后卷的，先卷后切的不易變形。 92K#xM/
（接近改進前的原廠部品，壽命在3~6個月左右） hiA%Tq?
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問題的原因3：電氣連接 )o@-h85";
中和器是高溫部件，螺絲螺母等連接件很容易氧化。 WscNjWQ^TD
推薦定時更換鍍金螺絲螺母，不要用普通螺絲 q`DilZ]S
（原因1：普通螺絲易氧化造成電接觸不良 原因2：普通螺絲易咬死） zkR L'-
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問題的原因4：陶瓷 O
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國內(nèi)大多數(shù)副廠的陶瓷其實已經(jīng)夠用了，因為陰極電壓并不高。 ~$3X>?Q
但是也有碰到品質(zhì)極差的，比如說內(nèi)部孔隙過多（氣體析出造成中和器打火） DU%j;`3
材質(zhì)不對（不是AL2O3，高溫下發(fā)生變形）。 8g C Q0w<
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問題的原因4：氣體 D%k]D/
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