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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 為什麼SiO2開APC會(huì)吸收? [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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danieltsai06	2022-10-13 11:29
為什麼SiO2開APC會(huì)吸收? 如題, 離子源氧氣開大也是會(huì)吸收, APC打開也會(huì)吸收, O2不是會(huì)降低吸收嗎?

tearzhou	2022-10-14 08:40
此吸收非吸收，氣體太多，真空度變差會(huì)造成膜層不夠致命，SIO2膜層不夠致命造成的散射 Ihd{@6m 另一個(gè)就是你氧氣純度

danieltsai06	2022-10-14 15:11
tearzhou:此吸收非吸收，氣體太多，真空度變差會(huì)造成膜層不夠致命，SIO2膜層不夠致命造成的散射 F>H5 ww9E 另一個(gè)就是你氧氣純度 (2022-10-14 08:40) $:RP tG kKFhbHUZa 謝謝，終於解惑了。

comebackz	2022-11-02 09:33
不錯(cuò)........

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