光學波導氣體傳感器技術原理介紹
光學波導氣體傳感器,簡稱為“光波導傳感器”,實際光學波導就是通過玻璃光波導面固定對某一種被測氣體有選擇性響應的敏感試劑,來制作的薄膜光波導氣體傳感器。首先利用離子交換法可以制備出折射率平穩(wěn)變化的光波導,然后通過玻璃基板表面附近結合比較弱的或可移動的離子與玻璃表面的半徑較小離子進行交換,可以形成折射率略高于基板的導波。 sSD&'K=lq /L2n
~/ 接著將篩選具有一定選擇性的敏感材料,通過旋轉甩涂法或者提拉法固定在玻璃光波導表面,制作薄膜玻璃光波導傳感元件,將薄膜玻璃光波導傳感元件安裝在光波導檢測系統(tǒng)中對氣體進行檢測,當敏感層與被測氣體相互按觸時,氣敏改變敏感薄膜的光學參數(shù),進而引起臨近波傳播模式的改變,導致輸出光強度的變化。 DT6BFx 4ji'6JHPg
[attachment=114042] _ Qek|> 光學波導氣體傳感器架構圖 h.Sbds 那么光學波導氣體傳感器輸出光強度變化程度,與被測氣體濃度有關,因此檢測輸出光強度的變化就可以獲得被測氣體濃度的有關信息。 \$t{K QwF.c28[
[attachment=114043] -em3 #V 光學波導氣體傳感器線性圖 {ehYE
|