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infotek 2022-06-28 08:35

分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦特性

高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此,在仿真聚焦時(shí)考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場(chǎng)追跡分析。通過場(chǎng)追跡分析,可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對(duì)稱焦點(diǎn)。相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場(chǎng),也可以深入研究矢量效應(yīng)。 |2!!>1k  
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建模任務(wù) aWp9K+4R$/  
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概述 ^H0`UKE  
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•案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。 ZcTxE]Y  
•接下來(lái),我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 MhE'_sq  
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光線追跡仿真 KNR_upO8  
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•首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”作為模擬引擎。 Kp_L\'.I5$  
•單擊go! l7rGz2:?  
•獲得了3D光線追跡結(jié)果。 (9;qV:0`  
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光線追跡仿真 b!>w4MPe  
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•然后,選擇“光線追跡”作為模擬引擎。 O@.afk"{  
•單擊go! W*'gqwM&  
•結(jié)果得到點(diǎn)圖(二維光線追跡結(jié)果)。 8J&K_ JC^  
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