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分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦特性
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infotek
2022-06-28 08:35
分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦特性
高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此,在仿真聚焦時(shí)考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場(chǎng)追跡分析。通過場(chǎng)追跡分析,可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對(duì)稱焦點(diǎn)。相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場(chǎng),也可以深入研究矢量效應(yīng)。
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建模任務(wù)
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概述
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•案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。
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•接下來(lái),我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。
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光線追跡仿真
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•首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”作為模擬引擎。
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•單擊go!
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•獲得了3D光線追跡結(jié)果。
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光線追跡仿真
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•然后,選擇“光線追跡”作為模擬引擎。
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•單擊go!
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•結(jié)果得到點(diǎn)圖(二維光線追跡結(jié)果)。
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場(chǎng)追跡仿真
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