馬赫澤德干涉儀

!jS4!2'   馬赫澤德干涉儀

1TqF6`;+   >3;^l/2c   %|3e.1oX   &yH#s 8^8   g jG2   干涉測量法是一項用于光學測量的重要技術(shù)。它被廣泛應用于表面輪廓、缺陷、機械和熱變形的高精度測量。作為一個典型示例，在非序列場追跡技術(shù)的幫助下，于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的馬赫-澤德干涉儀。該例證明了光學元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。 twqFs   i8V0Ty4~N   建模任務 ].DY"   1JTbCS   eVnbRT2y&   % m n />   由于組件傾斜引起的干涉條紋 Ph7pd   9rj('F&1   993d/z|DX   7#4%\f+'t   由于偏移傾斜引起的干涉條紋 R