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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> APC充氧的作用 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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xzaxd	2022-06-16 09:04
APC充氧的作用請(qǐng)教各位大佬，鍍膜中的APC充氧有什么作用？

ouyuu	2022-06-18 18:44
補(bǔ)充氧氣，穩(wěn)定真空度。 43eGfp' 不同真空度下，膜的分布和致密度都是不一樣的。 uMWpY

xzaxd	2022-06-20 11:34
但是不是真空度越高對(duì)膜層堆疊越好嗎？

奔跑的小駿馬	2022-06-21 18:22
APC充氧主要作用是保證鍍膜材料氧化充分，不然吸收會(huì)比較大

ouyuu

2022-07-02 19:40

xzaxd:但是不是真空度越高對(duì)膜層堆疊越好嗎？ (2022-06-20 11:34) 'j}%ec1

理論上是這樣。但是實(shí)際上也要考慮機(jī)臺(tái)生產(chǎn)的穩(wěn)定性。在清機(jī)初期抽速較好的情況下，人為的降低一點(diǎn)真空度。有射頻離子源的情況下，一般離子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于離子源供氧）

xzaxd	2022-07-05 16:54
ouyuu:理論上是這樣。但是實(shí)際上也要考慮機(jī)臺(tái)生產(chǎn)的穩(wěn)定性。在清機(jī)初期抽速較好的情況下，人為的降低一點(diǎn)真空度。有射頻離子源的情況下，一般離子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于離子源供氧） (2022-07-02 19:40) l3-;z)SgH <T<?7SE+ 明白了！謝謝版主

xzaxd	2022-07-05 16:55
奔跑的小駿馬:APC充氧主要作用是保證鍍膜材料氧化充分，不然吸收會(huì)比較大 (2022-06-21 18:22) C1Slx!} 0sLR5A 好的！

18844167969	2022-08-29 16:14
解決吸收，保證材料充分氧化

wflney	2022-10-02 12:35
補(bǔ)充氧氣，穩(wěn)定真空度

shenhan0701	2023-03-29 12:12
APC功能上就是壓力控制儀，一般和離子源或者M(jìn)FC（流量質(zhì)量控制器）配合使用，用來(lái)穩(wěn)定鍍膜真空度維持氧氣分壓的 Jo1n>Mo-j hqmKUlo

h391485168	2023-06-26 23:53
18844167969:解決吸收，保證材料充分氧化 (2022-08-29 16:14) -K9bC3H id="\12Bw 解決吸收，是為了提高穿透嗎？

gaofei555	2024-07-05 17:37
ouyuu:理論上是這樣。但是實(shí)際上也要考慮機(jī)臺(tái)生產(chǎn)的穩(wěn)定性。在清機(jī)初期抽速較好的情況下，人為的降低一點(diǎn)真空度。有射頻離子源的情況下，一般離子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于離子源供氧） (2022-07-02 19:40) Xo]QV.n O)NEt 學(xué)習(xí)了... H7bdL 8/

renlgj	2024-07-21 17:15
主要是氧化，防止脫氧折射率變化

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