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2022-02-14 10:13 |
TSolidX軟件
1. 軟件簡介 yMIT( V;*pL1 TSolidX基于實際半導體工藝和掩模版圖設計的3D建模軟件,借助易于使用的UI,可以提供三種類型的3D建模結(jié)構(gòu)(實體模型,曲面三角網(wǎng)格,3D四面體網(wǎng)格)作為可在商業(yè)CAD,CAE,CAM軟件中使用的各種CAx格式數(shù)據(jù)。 hhq$g{+[ fykI,! 1.1 應用領(lǐng)域 N+>'J23d! -h\@RC TSolidX能生成多種3D模型: 7,_-XV2 OLED像素結(jié)構(gòu); w yD%x( PCB襯底設計; \JU ~k5j 散熱器結(jié)構(gòu); sC6r.@[u8t 生物醫(yī)學傳感器; {a4xF2 太陽能電池; Ve:&'~F2 s ib50LCm 1.2 主要功能 !V(`ZH *98Ti| 內(nèi)置布局編輯器,并且可以通過Skill語言界面直接從其他商業(yè)布局運行; YeIe\3x!N 高級mesh生成技術(shù):用多樣的結(jié)構(gòu)生成功能創(chuàng)建真實的結(jié)構(gòu); `Yogq)G} 可以定義各種堆棧信息和過程條件(厚度,臺階覆蓋率,平面度,錐度模型,非選擇性蝕刻,蝕刻阻擋層等),這些各種高級功能可以幫助生成準確的3D網(wǎng)格結(jié)構(gòu); `!kL1oUYE 提供了蝕刻工藝選項,包括非選擇性蝕刻,蝕刻停止劑,濕法蝕刻功能,半色調(diào)掩模進行的部分蝕刻; _[$#
b]V 提供3種3D網(wǎng)格類型:錐形,錐形保形和曼哈頓; j7sU0"7^ 附加布局程序,為“ TSolid Viewer”,可以識別GDS文件以及2D掩膜板設計; ib Ue*Z["1 有多種類型的CAx格式文件可用于導出數(shù)據(jù):對于實體模型,提供了step和IGES格式,對于3D三角形網(wǎng)格,提供了STL, Stanford triangle, Nastran, alias/wavefront/autocad dxf等,為3D四方網(wǎng)格提供了Nastran,ansys,Gmsh,abaqus輸入格式,為滿足客戶的需求,也可以添加特定的格式文件; ;qVG
\wQq 提供自適應和非結(jié)構(gòu)化網(wǎng)格算法,可以控制邊緣,表面和體積條件; -M`D> 通過使用變量功能可以非常輕松快捷地生成各種3D網(wǎng)格結(jié)構(gòu),可設置的變量參數(shù):厚度,水平度(平面化),錐角和寬度,CD余量,圓角倒圓和移位距離; ,^+#M{Z 支持分布式和并行計算方法 a#R%8) {_ 6t4h} 1.3 應用舉例 9L=;KtE1 nh.
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