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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 多層減反膜理論與實(shí)測(cè)差別較大 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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songyanxia

2022-02-09 15:29

多層減反膜理論與實(shí)測(cè)差別較大

設(shè)備為德國萊寶加APS離子源，在k9基底上使用sio2和ta2o5設(shè)計(jì)了可見區(qū)+1540nm雙波段減反膜，理論上在可見區(qū)有三個(gè)波峰，且平均剩余反射率小于0.5％，最大峰值0.7％左右，而實(shí)際測(cè)量曲線與理論相差非常大，波峰為4個(gè)，波峰最大值超過2％。sio2和ta2o5折射率以及tooling都校準(zhǔn)過了。

ouyuu	2022-02-23 19:22
AR膜好像從來沒有和設(shè)計(jì)一樣的。 Z-wvdw]$ 慢慢用模擬軟件模擬著修吧。 ^>H+#@R 5Rc^5Nv 先確定氧是足夠的（沒有失氧），先修敏感層。 UvPD/qu$8D

xiezhizhi	2022-02-28 14:34
同意一樓說法可以用TFC的Interactive Analysis 模擬看看是那一層影響

flyinlove79	2022-04-17 21:41
材料參數(shù)偏差、膜厚控制誤差、折射率不均勻等都會(huì)導(dǎo)致實(shí)測(cè)曲線和理論曲線間的偏差。

shenhan0701	2022-06-06 22:26
同樣的材料，厚度不同，tooling是不一樣的，一般來說100nm以下，越薄的層tooling越小，模擬看看吧

f4213705	2022-06-10 15:22
同意一樓說法

奔跑的小駿馬	2022-06-21 18:32
模擬確認(rèn)哪一層或者哪個(gè)材料出現(xiàn)偏差了

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