光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)的分析與公差
VirtualLab Fusion 軟件可以對(duì)光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行仿真,如干涉儀、光譜儀以及表面測(cè)量器件。 ?+5"
%4o hhN(;. 很多光學(xué)測(cè)量原理都是基于光的波動(dòng)特性。典型的器件有: k9.u[y. ^xBb$ 干涉儀 [N'r3 光譜儀&單色儀 =>E44v 表面計(jì)量系統(tǒng) I^6c0` !NlB%cF VirtualLab Fusion 軟件可以對(duì)這些測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行仿真及公差分析。許多設(shè)置都是以衍射效應(yīng)、干涉效應(yīng)以及時(shí)間和空間相干性為特點(diǎn)。VirtualLab的場(chǎng)追跡引擎進(jìn)行快速精確的測(cè)量系統(tǒng)建模的同時(shí)考慮了這些物理光學(xué)效應(yīng)。 EU`'
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! hOOpZf7 }xpe s|Imz<IE VirtualLab Fusion軟件的特性: m-Mhf;
^XjvJa 基于物理光學(xué)的計(jì)量系統(tǒng)仿真
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z~#; 包含部分相干和衍射效應(yīng) ]9!Gg 尤其對(duì)傾斜和偏移的公差分析 @]}Qh;a~ 真彩色獲取 AX!Md:s 便于使用的位置概念 ~:'gvR;x 干涉條紋的計(jì)算 {&6l\| 測(cè)繪掃描系統(tǒng)的仿真 =|DkD-
O 全譜段高分辨率分析 b}"vIRz |V*e2w
}WBm%f 用于表面拓?fù)錅y(cè)量的白光邁克爾遜干涉儀的仿真。整個(gè)系統(tǒng)中部分相干的白光可以利用VirtualLab Fusion仿真。 >d1aE)? 試用軟件和應(yīng)用示例: ^MF=,U'8 \oD=X}UQw( 如果對(duì)更多信息感興趣,請(qǐng)通過 support@lighttrans.com 或通過VirtualLab Fusion試用版結(jié)合我們提供的應(yīng)用示例開展你的實(shí)驗(yàn)工作: Lx4H/[$6D MSY.0001: 使用相干光的馬赫澤德干涉儀仿真。(download) see'!CjVo2 MSY.0002: 白光邁克爾遜干涉儀的仿真。(download) 5VY%o8xXa MSY.0003: Czerny-Turner單色儀和光譜儀。(download) ^@l5u= 立即下載VirtualLab Fusion試用版 HzFt Rqv+N] 測(cè)量系統(tǒng)(MSY.0001 v1.1) 1{Sx V 0^|$cvYiL 相干光馬赫澤德干涉儀的仿真 }J4BxBuV8 =qVAvo'
k_.j% 應(yīng)用示例簡(jiǎn)述 wE.@0 u8$~N$L 1. 系統(tǒng)說明 d3\l9R{} .5$V7t.t$\ 光源 ;9-
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