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infotek 2021-11-12 09:39

F-Theta物鏡激光掃描系統(tǒng)的性能分析

激光掃描系統(tǒng)(LSC.0002 v1.0) m-T@Og  
r:N =?X`N  
應(yīng)用案例概述
@>:V?  
5\!t!FL_  
系統(tǒng)細(xì)節(jié) W3Gg<!*Uo  
3QSA|  
光源 @G'&7-(h*  
– 綠光二極管 _UP =zW  
元件 ;|yd}q=p  
– 雙軸振鏡掃描儀 r7|_Fm Qf  
– F-Theta物鏡  #dO8) t  
探測(cè)器 vtx3a^  
– 場(chǎng)曲和畸變探測(cè)器 \G4L+Q/13  
– 光束強(qiáng)度剖面探測(cè)器 JJC Y M  
– 焦點(diǎn)區(qū)域探測(cè)器 z3Id8G&>  
– 光束參數(shù)探測(cè)器 3(o}ulp