VirtualLab矩形組合光柵建模
建模目的:如何將矩形光柵界面和轉(zhuǎn)變點(diǎn)列界面(Transition Point List Inerface)進(jìn)行組合,以構(gòu)建復(fù)雜結(jié)構(gòu)光柵,并進(jìn)行近場(chǎng)分析和內(nèi)部場(chǎng)分析 /]]\jj#^ 工具箱:光柵工具箱 I+O!<SB 關(guān)鍵詞:矩形光柵界面 轉(zhuǎn)變點(diǎn)列界面 近場(chǎng)分析 內(nèi)部場(chǎng)分析 7"4|`y^# 組合光柵結(jié)構(gòu)參數(shù): )X\3bPDJR
圖1:光柵參數(shù)示意圖 }9P)<[> 使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模 GLc+`,. Kr]!BI?z 1) 操作如下圖(1)(2):解決方案(Solutions)/光柵工具箱(Grating Toolbox)/二維光柵仿真(2D Grating Simulations)/自定義光柵光路流程圖(General Grating Light Path Diagram),生成光柵光路圖, 如下圖(3) & PHHacp
(1) 8qBRO[
(2) (U/[i.r5Cj
(3) WF-imI:EK 圖2:使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟1)示意圖 @u6#Tvxy[ 2) 雙擊 ,進(jìn)入光柵編輯窗口(Edit General Grating 2D)/結(jié)構(gòu)與功能子窗口(Structure/Function),確定基板材料和厚度,并選擇堆棧界面。 #D//oL"u] 6mdJ
=b#
圖3:使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟2)示意圖 94nvh:n 3) 進(jìn)入堆棧界面,即堆棧編輯窗口(Edit),通過(guò)添加(Add)按鈕依次添加平面(Plane Interface),矩形光柵界面(Rectarngular Grating Interface)以及轉(zhuǎn)變點(diǎn)列界面(Transition Point List Interface)以構(gòu)建矩形組合光柵。 [4xN:i Ev0V\tl>0
(1) -oF4mi8S ![](http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/150831/1-150S1114555518.png) (2) 0?,EteR (3) 圖4:使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟3)示意圖 Y/Y746I 4) 點(diǎn)擊 ,進(jìn)入矩形光柵編輯窗口(Edit Rectangular Grating Interface),輸入光柵一的結(jié)構(gòu)參數(shù),并將其位置橫向移動(dòng)(Lateral Shift)1 μm,如下圖所示 zCvR/ >R
|