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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 磁控濺射靶的問題 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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mainbomb	2007-03-11 11:35
磁控濺射靶的問題就我所用的磁控濺射儀，磁控濺射的靶在用一段時間之后，在靶邊緣的特定區(qū)域總是會發(fā)藍(lán)，尤其是NiCr合金靶、Pb靶和TiW的靶，請問是怎么回事？還有濺射鍍膜的均勻性不好，有什么可以改善的方法嗎？ /3KPK4!m 請大俠不吝賜教！非常感謝

wolfliu	2007-04-05 12:58
你使用的是什么磁控濺射設(shè)備？

wolfliu	2007-04-10 13:45
很可能是污染所致，比如輕微的氧化。

荷塘月色	2007-07-02 22:51
靶溫度過高，冷卻效果不好。

luochan	2007-08-10 11:20
請問您所使用的靶材主要用于哪方面的用途啊？

jianfei88	2007-08-10 18:15
真空度！

青桃	2007-08-20 13:19
兩端遮擋,表面輕微氧化

dianke	2007-09-03 13:54
請問是什么設(shè)備

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