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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 關(guān)于磁控濺射 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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mainbomb	2007-03-11 11:31
關(guān)于磁控濺射磁控濺射的靶在用一段時間之后，在靶邊緣的特定區(qū)域總是會發(fā)藍(lán)，尤其是NiCr合金靶、Pb靶和TiW的靶，請問是怎么回事？還有濺射鍍膜的均勻性不好，有什么可以改善的方法嗎？

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