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infotek 2021-07-13 09:57

檢查微型晶片的光學(xué)系統(tǒng)

成像系統(tǒng)>包括光柵 tFu"h1  
B3'-:  
任務(wù)/系統(tǒng)說明 %JPBD]&M  
Z \>mAtm  
q.!<GqSgb  
DE!c+s_g4  
亮點(diǎn) E~`l/ W  
X{ f#kB]w  
 "-R19SpJKh  
1fqJtP6  
 在復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中，包含光柵（如，非常大的數(shù)值孔徑(NA)） cjwc:3 CM  
 嚴(yán)格分析光柵衍射效率 bDjm:G  
 考慮入射光的方向分布 S(PU"}vZy  
q#\4/Dt  
說明：光源 v4vIcHDs  
DdCNCXU  
GS+Z(,J>=  
Jsf"h-)P  
說明：光束分束器 d[`vd^hI  
_*fOn@Vwo  
ndHUQ$/(  
9w