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infotek 2021-07-01 09:25

傾斜光柵的參數(shù)優(yōu)化與容差分析

摘要 =y7]9SOq  
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對于如背光、光學(xué)連接器和近眼顯示等許多應(yīng)用來說,光如何高效地耦合到波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中是一個(gè)重要問題。對于這些應(yīng)用,眾所周知傾斜光柵可以高效率地耦合單色光。這個(gè)例子展示了使用嚴(yán)格的傅立葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)對傾斜光柵進(jìn)行優(yōu)化。對于預(yù)定義方向的級次,優(yōu)化得到的光柵的衍射效率超過90%。此外,還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 !)tXN=(1a  
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在VirtualLab Fusion中查看 LH 4-b-  
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VirtualLab Fusion的工作流程 v\-"NHl  
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•構(gòu)造光柵結(jié)構(gòu) (Wq9YDD@  
- 使用特殊介質(zhì)配置光柵結(jié)構(gòu)[用例] YO!,m<b^u  
- 傾斜光柵的高級配置[用例] zx-+u7qKH  
•分析光柵衍射效率 .EloBP  
- 光柵級次分析器[用例] &t%CuU]/@  
•使用參數(shù)優(yōu)化優(yōu)化光柵參數(shù) SX^fh.  
•使用參數(shù)運(yùn)行進(jìn)行容差分析 dGIu0\J\$  
- 參數(shù)運(yùn)行文檔的用法[用例] (%#d._j>fZ  
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