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infotek 2021-04-15 10:55

鍍膜正弦光柵中光衍射的精確模擬

案例246.01:鍍膜正弦光柵中光衍射的精確模擬 2]5Li/   
%xQ'i4`  
這個(gè)案例演示了對(duì)于鍍膜光柵的嚴(yán)格模擬,它說(shuō)明了鍍膜對(duì)所有反射級(jí)次的總反射效率的影響。 3T,[  
=_m3 ~=Z  
關(guān)鍵詞:嚴(yán)格分析,F(xiàn)MM,正弦光柵,鍍膜 ST?Rl@4  
f>4|>kS  
所需工具箱子:光柵工具箱 Qo^(r$BD  
Wq5}LO)  
相關(guān)案例:G.001a,Scenario 104.01 .oT'(6#  
74:~F)BP  
建模任務(wù) r%iFsV_  
qnWM  %k  
加載例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一個(gè)正弦光柵,使用光柵效率分析器分析光柵。 K{`R`SXD  
.QZjJ9pvK  
chKEGosbF  
雙擊General 2D Grating component選擇Struture Function 頁(yè)面,打開(kāi)編輯對(duì)話框,添加光柵。 #>,E"-]f  
AJ& j|/  
U] GD6q  
為了在嚴(yán)格模擬時(shí)添加鍍膜,必須將堆棧作為一個(gè)序列的表面和材料添加進(jìn)來(lái)。點(diǎn)擊Stack Tools,選擇Insert Coating。 /je $+  
$\/^O94-l  
4KR`  
選擇光學(xué)界面no.1作為鍍膜表面。點(diǎn)擊 按鈕來(lái)載入膜層目錄。
ISK 8t  
oD\t4]?E  
(jj`}Qe3U  
G `!A#As  
選擇Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,點(diǎn)選Stack01_632.8nm。選擇OK關(guān)閉對(duì)Edit Coating Tool話框。 p'%S{v@5((  
i\b^}m8c.N  
C,$o+q*)W9  
堆棧編輯器包含頂層表面的膜層。點(diǎn)擊OK關(guān)閉堆棧編輯器。點(diǎn)擊底部的OK按鈕來(lái)關(guān)閉元件對(duì)話框。使用光柵效率分析器分析光柵。 >1Hv c7DP  
|&W4Dk n  
} eHxw+.  
X線偏振光模擬結(jié)果:
D|m3. si  
%,HUn`  
探測(cè)器主窗口中可以看到結(jié)果信息,鍍膜后的反射率顯著加強(qiáng)。 T`Up%5Dk  
在Ideal Plane Wave 光源編輯對(duì)話框中改變偏振態(tài)為y方向線偏光。這里有兩個(gè)預(yù)先設(shè)置好的例子文件來(lái)演示y線偏光。 x0ipk}  
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Y線偏光模擬結(jié)果 V]+y*b.60