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infotek 2021-03-04 10:27

高數(shù)值孔徑(NA)物鏡的聚焦分析

1. 摘要 B_^ ~5_0:  
   <0Mc\wy  
高NA物鏡廣泛用于光刻,顯微等技術(shù)。因此,聚焦仿真中考慮光的矢量性質(zhì)至關(guān)重要。VirtualLab可以非常便捷地對此類鏡頭進(jìn)行光線追跡和場追跡分析。通過場追跡,可以清楚地觀察由于矢量效應(yīng)引起的聚焦光斑失對稱現(xiàn)象。利用相機(jī)探測器和電磁場探測器能夠?qū)劢箙^(qū)域進(jìn)行靈活全面的研究,進(jìn)而加深對矢量效應(yīng)的理解。 y}'c)u  
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2. 建模任務(wù) L=7 U#Q/DE  
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3. 概述 /G zA89N(  
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 示例系統(tǒng)包含了高數(shù)值孔徑物鏡 *bl*R';  
 下一步,我們將闡述如何遵循VirtualLab中推薦的工作流程執(zhí)行示例系統(tǒng)的仿真。 Z/|oCwR  
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4. 光線追跡仿真 7 +RsZu  
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 首先,選擇“Ray Tracing System Analyzer”作為仿真引擎。 36NENzK  
 點(diǎn)擊“Go!”。 '^T Q Ubw  
 隨即獲得3D光線追跡結(jié)果 w3,1ImrXp  
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x6, #Jp  
 然后,選擇“Ray Tracing”作為仿真引擎。 B=>:w%<Ii  
 點(diǎn)擊“Go!”。 ^yO+-A2zC  
 隨即獲得點(diǎn)列圖(2D光線追跡結(jié)果)。 i; 8""A  
y+ZRh?2  
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5. 場追跡仿真 6' 9ITA  
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Fq]ht*  
 轉(zhuǎn)換到場追跡,并選擇“Field Tracing 2nd Generation”作為仿真引擎。 'nK(cKDIG  
 點(diǎn)擊“Go!”。 ?0v(_ v  
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