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高數(shù)值孔徑(NA)物鏡的聚焦分析
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infotek
2021-03-04 10:27
高數(shù)值孔徑(NA)物鏡的聚焦分析
1. 摘要
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高NA物鏡廣泛用于光刻,顯微等技術(shù)。因此,聚焦仿真中考慮光的矢量性質(zhì)至關(guān)重要。VirtualLab可以非常便捷地對此類鏡頭進(jìn)行光線追跡和場追跡分析。通過場追跡,可以清楚地觀察由于矢量效應(yīng)引起的聚焦光斑失對稱現(xiàn)象。利用相機(jī)探測器和電磁場探測器能夠?qū)劢箙^(qū)域進(jìn)行靈活全面的研究,進(jìn)而加深對矢量效應(yīng)的理解。
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2. 建模任務(wù)
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3. 概述
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示例系統(tǒng)包含了高數(shù)值孔徑物鏡
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下一步,我們將闡述如何遵循VirtualLab中推薦的工作流程執(zhí)行示例系統(tǒng)的仿真。
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4. 光線追跡仿真
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首先,選擇“Ray Tracing System Analyzer”作為仿真引擎。
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點(diǎn)擊“Go!”。
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隨即獲得3D光線追跡結(jié)果
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然后,選擇“Ray Tracing”作為仿真引擎。
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點(diǎn)擊“Go!”。
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隨即獲得點(diǎn)列圖(2D光線追跡結(jié)果)。
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5. 場追跡仿真
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轉(zhuǎn)換到場追跡,并選擇“Field Tracing 2nd Generation”作為仿真引擎。
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點(diǎn)擊“Go!”。
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