關(guān)于PMMA鍍膜問(wèn)題

請(qǐng)教下群里的大佬，我在做PMMA鍍分光膜的時(shí)候，9層膜系 ti2o5 大概250nm 科達(dá)公司的硅鋁混合物大概500nm，速率分別為2.5和5.0 離子源是霍爾源，不加溫，鍍后測(cè)溫儀顯示50度，但是放上去的片子還是會(huì)有輕微變形呢？基材尺寸是80*80*1.0的，后面我該怎么調(diào)整呢？
外面采購(gòu)的鍍膜四個(gè)側(cè)邊沒(méi)有電子槍蒸鍍產(chǎn)生的擴(kuò)散印記，除了電子槍蒸鍍還有什么辦法做這個(gè)產(chǎn)品的AR膜和分光膜嗎？

15694227112	2021-02-09 12:11
我看到好多資料有提到退火一說(shuō)，這個(gè)我鍍前鍍后 80度 2h也沒(méi)有什么變化

ouyuu	2021-02-10 03:29
離子源和電子槍對(duì)板子都有加熱作用。 k _hiGg 還有就是膜本身的應(yīng)力作用也會(huì)造成板子變形。 oGly\|L> 你兩面都鍍一下看看

15694227112

2021-02-13 16:25

ouyuu:離子源和電子槍對(duì)板子都有加熱作用。 Y;p _ff
還有就是膜本身的應(yīng)力作用也會(huì)造成板子變形。 n wToZxHZ~
你兩面都鍍一下看看 (2021-02-10 03:29) 05LVfgJ'q

我現(xiàn)在嘗試了很多種辦法，最可疑的是我低溫不加離子源也是會(huì)變形的，我現(xiàn)在懷疑冷卻水流速壓力不夠，0.3是否需要提高到0.4，另一則，我腔體、門(mén)上和工架傘都包了錫紙了，是不是間接的把輻射都給了鏡片了，不知道有影響不

casix9489	2021-02-19 09:59
片子尺寸大厚度薄，應(yīng)該是膜層應(yīng)力作用導(dǎo)致片子變形

ouyuu	2021-02-19 23:39
http://www.lslt888.com/job.php?action=download&aid=105794 V'#dY~E-P 關(guān)于應(yīng)力你可以看下資料，并不是溫度越低越好。

15694227112	2021-03-02 18:20
ouyuu:http://www.lslt888.com/job.php?action=download&aid=105794 PEac0rSW 關(guān)于應(yīng)力你可以看下資料，并不是溫度越低越好。 (2021-02-19 23:39) <gF=$u\|}3[ =@AWw:!:, 非常感謝

15694227112

2021-03-02 18:23

ouyuu:http://www.lslt888.com/job.php?action=download&aid=105794 i]J*lM7'
關(guān)于應(yīng)力你可以看下資料，并不是溫度越低越好。 (2021-02-19 23:39) s:3 altv

這個(gè)文章我閱讀過(guò)了，目前已經(jīng)解決了這個(gè)難題，影響的因素很多，么辦法說(shuō)準(zhǔn)確的就是降低離子能量就一定會(huì)好，一定程度和基底的殘余應(yīng)力有相當(dāng)?shù)年P(guān)系。

ouyuu	2021-03-06 20:46
一般這種情況我們會(huì)兩面鍍，這樣兩面應(yīng)力能夠抵消。

tony肖	2021-06-22 22:34
對(duì)，進(jìn)行兩面鍍膜，還有就是匹配好基板和膜層間的應(yīng)力